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1. ???????????????????????????????????
???????????? (ArF) ??????????????: ????????????? α-???????????????????? (GBLMA) ??? 3-????????-1-?????????????????? (HADA), ??????????????????????????????????????? 70 nm. ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????, ????????????????????? 193 nm, ????????????????????????? 4.2, ??????????????????????????????????????????????? 14 nm.
?????????????????????????????????????????: ?????????????????????????????, ???????????????????????????????????????????? (ε) ??????? 2.8, ?????????????????????????? 5G, ???????????????????????????????? (??????? 30% ????????????????????????????????????????????).
2. ???????????????????????????????????????
????????????????????????????????????????????????: ???????????????????????? 92% (400-800 nm), ??????????? < 0.5%, ????????????????????????? LED, ?????????????????????? 150℃ ??????????????????????? (?????????????????????? YI < 1).
?????????????????????????????? VR: ????????????????????????? (PC), ?????????????????????????????????????? (????????????????? 4H) ?????????????????????? (?????? 1000 ??????? 180° ?????????), ???????????????????? (Fresnel lens) ?????? VR.
3. ??????????????????????????????
?????????????????????????????????????: ??????????????????????????????????, ????????????????????????????????????????????? 250℃ (????????????????????? ????? 0), ?????????????????????????? 1000 ??????? (??????????? ASTM B117), ???????????????????????????????????????.
????????????????????????? UV: ???????? AdA 10-15% ???????????????????????????????????? 28 mPa (???????????????????), ?????????????????????????????????????????????????? -50℃ ?? 180℃, ?????????????????????????????????.
4. ????????????????????????
???????????????????????: ??????????????????????????????????????? (PEGDA), ?????????????????????????????????? pH (?????????????????????????? 200% ????? pH < 5), ?????????????????????????????????????????????????????????? (???????????????????????????).
??????????????????????????: ???????????????????????????????????????????????????????????, ??????????????????????????????????????????????????????????????? (?????????????????????? > 90%), ?????????????????????????????????????.
| ???????????????: | Chemicals |
|---|---|
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