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- ??????:????? 525 ?????? Chengyin, Baoshan ?????????, ???????????:
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?????????????????????????????????? ArF/krF: ?????????????????????????????????????, ????????????????????????????????????????????????. ??????????????????? tetrahydrofuran ????????????????????????????????????????????????????? silicon wafer ??????, ????????????? ketone carbonyl ???????????????????????????????????????????????????????????? ??? ?????????????????????????? ??????????????????????????????????????? (????????????????????? 4.0 ???????????), ??????????????????????????????????????????????????? 90-130 nm.
?????????????????????????????: ????????????????????????????????????????? epoxy resin, ???????????????????????????????????????????????? (ε≈3.2), ??????????????????????????????????????, ???????????????????????????? 5G.
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??????????????????????: ??????????????? polyurethane acrylate, ?????????????????????????????????? (?????: ?????????, ??????) ?????????? acrylate ?????? (????????????????????? ????? 0), ??????????????????????????????????????? (500 ??????? ?????????????) ????????? 30%, ?????????????????????????????????????????????.
?????????? UV ???????????????: ???????? OTFA 5-15% ??????????????????????????????????????? (??????????????????????? ????? 150%), ????????????????????????????????????????????????? (>15 MPa), ?????????????????????????????????????????????????????????????.
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????????????????????????????: ??????????????? polyethylene glycol diacrylate (PEGDA), ?????????????????????????????????????? pH (??????????????????????? 200% ????? pH < 5), ??????????????????????????????????????????????????????? (????????????????????).
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