Formula chimica	C6H19NSi2
Peso molecolare	161.39
Formula strutturale
Densità	0.765
Punto di fusione	-78℃
Punto di ebollizione	125℃
Punto di infiammabilità	20℃
Solubilità in acqua	REAGISCE
Pressione di vapore	20 hPa (20 °C)
Indice di rifrazione	1.4069
Proprietà fisico-chimiche	Aspetto Liquido incolore e trasparente, non tossico, con lieve odore di ammina

Principali usi: L'esametildisilazano (HMDS) è un importante composto organosilicico con ampie applicazioni nel campo della chimica del silicio organico e della sintesi organica. L'esametildisilazano non è solo una materia prima chiave per la sintesi dell'esametildisilurea (BSU), ma è anche un comune agente di sililazione nella sintesi organica, con un importante valore di utilizzo industriale. Nella chimica dei silazani organici, può essere utilizzato per lo scambio di cloro con monomeri clorosililici, ottenendo così polisilazani; questo metodo presenta enormi vantaggi sintetici rispetto al metodo diretto di introduzione di ammoniaca. Nell'industria dei semiconduttori viene utilizzato come ausiliatore di adesione per agenti di fotoincisione. Nell'industria farmaceutica, l'esametildisilazano viene utilizzato nei processi di sintesi di amikacina, penicillina, cefalosporine, ecc.